無(wú)塵車(chē)間工程是為了實(shí)現空氣由空調箱經(jīng)風(fēng)管與潔凈室內之空氣過(guò)濾器進(jìn)入到潔凈室,在無(wú)塵室兩側安裝隔間墻板或高架地板回風(fēng)。氣流因非直線(xiàn)型運動(dòng)而呈不規則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于無(wú)塵生產(chǎn)車(chē)間等級為1000-100000級的。
優(yōu)點(diǎn):無(wú)塵車(chē)間工程構造簡(jiǎn)單、系統建造成本也較低,因此在潔凈室的擴充會(huì )比較容易,在某些特殊用途場(chǎng)所,可并用無(wú)塵工作臺,來(lái)提高潔凈室等級。

缺點(diǎn):
無(wú)塵車(chē)間工程的亂流造成的微塵粒子于室內空間飄浮不易排出,易污染制程產(chǎn)品。另外若系統停止運轉再啟動(dòng),欲達需求之潔凈度,往往須耗時(shí)相當長(cháng)一段時(shí)間。